平板显示用氧化物沟道靶材是决定终端产品显示和交互体验的决定要素之一。廖蕾教授团队通过与漳州合琦靶材科技有限公司开展产学研用联合攻关,开发出高性能、高稳定性氧化物靶材,迁移率超过40cm2/Vs,实际工况下阈值电压漂移低于1.5V。
产品的电学性能和晶粒尺寸等关键指标已超过国际同类产品,2023年产品营销额超过1000万,初步实现了国产高端替代。该靶材产品拥有全流程的自研技术和完整的自主知识产权,获第十二届中国创新创业大赛(福建赛区)一等奖。