金属有机物化学气相沉积(MOCVD)是生产光电器件、功率器件等半导体器件的主要手段。石墨基盘是MOCVD设备的核心部件,对外延材料生长起决定性作用,目前基本被日、德、美等国垄断。
长宇集团携手湖南大学三代科研人,深耕炭材料领域产教融合近40年。从九十年代初钟虎成教授和谢友赞教授,到2008年刘洪波教授,至2022年成立湖南长扬新能源科技有限公司携手研究院邹艳红教授,开发适用于8英寸及以上高通量、多晶圆的MOCVD设备用中650mm石墨基盘,成本预期是国外同类先进产品的50%,有利于带动国内半导体石墨市场规模的发展,减少年均近20亿的外汇流出。项目的成果研制与应用可为公司带来年均5000万元的经济效益,带动上下游产业年均3亿元的经济效益。