设备厂家：

Thermo scientific

型号：

聚焦离子束系统 Helios 5 CX

仪器说明：

主要功能：制备TEM样品、离子束刻蚀、高分辨扫描电子显微镜功能(二次电子像，背散射电子像）、样品的微纳加工。