设备厂家： 

ACME                        

型号： 

ALD-CSTM

仪器说明：

ALD-CSTM 是一种通过交替表面饱和吸附反应进行自限制生长超薄薄膜的仪器。可以沉积多种材料：如氧化物、氮化物、硫化物等纳米薄膜，在任意曲面可精确控制薄膜厚度，只通过控制反应周期数。