设备厂家:
功率薄膜磁控溅射系统
型号:
DM500
仪器说明:
功率薄膜磁控溅射系统通过电离气体激发高能粒子轰击靶材,使靶材原子溅射沉积在基片表面形成致密薄膜。该系统广泛应用于微电子、光学镀膜及功能材料领域,具有成膜均匀性强、附着力高且可精确调控薄膜成分与厚度的特点。