项目目标：

开展面向平板显示的高性能高纯度氧化物靶材的关键技术研究及其产业化开发，具体包括新型薄膜晶体管器件结构设计、载流子传输动力学调控机理研究、高纯度大尺寸氧化物靶材开发、高性能氧化物半导体层及其相匹配电极材料开发及制备、界面修饰优化工艺、高性能器件阵列制备工艺技术开发等研究。促进面向平板显示的高性能高纯度氧化物靶材关键技术的突破及产业化。